自動對復(fù)合污染物中的各種相進行精確辨別
測量程序
可以快速設(shè)定SEM和測試參數(shù)、實現(xiàn)高清BSE圖像采集拍攝和圖像處理、元素定量測試等功能
報告程序
對測量結(jié)果進行快速的后處理,具備圖像處理、圖表繪制、顆粒分類、譜圖展示和報告生成等一系列功能
對顆粒識別及分類標(biāo)準(zhǔn)進行定義增強顆粒識別的適用范圍
全系統(tǒng)自動化
清潔度系統(tǒng)實現(xiàn)了自動化的專業(yè)清潔度分析,結(jié)果快速準(zhǔn)確。

追溯顆粒
一鍵追溯顆粒,控制電鏡移動至顆粒當(dāng)前位置

豐富的分析數(shù)據(jù)圖表
通過餅圖、柱狀圖、折線圖和條狀圖等數(shù)據(jù)形式對顆粒信息進行圖形化表示

自定義顆粒
可以根據(jù)用戶需求,自由添加標(biāo)準(zhǔn)庫中沒有的顆粒

自由查看顆粒元素
可以在分析圖界面自由查看顆粒分布趨勢,并可以自由放大縮小顆粒
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